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    四（甲乙胺）鋯

        

        
    

        
    
        
    關鍵詞：

        
    
        

        

        
    
        
    關鍵詞：

        
    
        
    MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

        

        
    
        
    所屬分類：

        
    

        
    
        
    
    


        
    
        
    產品咨詢：

        
    

        

        

        

        
    
        
    
        
    
        
    產品描述

        

        

        
    

        
    
        
	
		
        
			
			
        中文名
        
			        		
			
			
        化學式
        
			        		
			
			
        CAS號
        
			        		
			
			
        英文簡稱
        
			        		
			
			
        英文名
        
			        		
			
			
        類別
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        四（甲乙胺）鋯
        
			        		
			
			
        C12H32N4Zr
        
			        		
			
			
        175923-04-3
        
			        		
			
			
        TEMAZ
        
			        		
			
			
        Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
        
			        		
			
			
        前驅體
        
			        		
		
        
	        

        


         
        


        
	
		
        
			
			
        四（甲乙胺）鋯（TEMAZ）
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        化學式
        
			        		
			
			
        C12H32N4Zr
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        中文名稱
        
			        		
			
			
         四（甲乙胺）鋯
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        英文名稱
        
			        		
			
			
        Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        CAS No.
        
			        		
			
			
         175923-04-3 
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        分子量
        
			        		
			
			
        323.63
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        應用
        
			        		
			
			
        主要用于CVD、ALD、等離子體增強原子層沉積(PEALD)工藝，是生產ZrO2的前驅體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動態存儲（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動態存儲和高清顯示技術難題的最優選材料之一；可作阻變存儲器的介質層前驅體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅體。
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        產品規格
        
			        		
			
			
        6N（99.9999%）
        
			        		
		
        
	        

        


        

        
 
        

        
    
        
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