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        四(二甲胺)鉿

        關鍵詞:

        關鍵詞:

        MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

        所屬分類:

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        產品描述

        中文名

        化學式

        CAS號

        英文簡稱

        英文名

        類別

        四(二甲胺)鉿

        C8H24HfN4

        19962-11-9

        TDMAH

        Tetrakis(diethylamion)hafnium

        前驅體

         

        四(二甲胺)鉿 (TDMAH)

        化學式

         C8H24HfN4 

        中文名稱

        四(二甲胺)鉿

        英文名稱

        Tetrakis(diethylamion)hafnium

        CAS No.

          19962-11-9

        分子量

        354.79

        應用

        主要用于CVD和ALD的前驅體材料,用于沉積鉿的前驅物,制備鉿氧化物薄膜;可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料,廣泛應用于45nm下直至7nm技術等先進CMOS集成電路技術中。 其應用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中,可展現良好的微縮特性,還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性;在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應晶體管(FeFET)、鐵電負電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結等新功能器件制造方面表現出良好的微縮特性,為類腦型神經形態計算等變革性技術研究與發展提供新的途徑。 還可替代二氧化硅,作為金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵極。

        產品規格

        6N(99.9999%)

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