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    磷酸三甲酯

        

        
    

        
    
        
    關(guān)鍵詞：

        
    
        

        

        
    
        
    關(guān)鍵詞：

        
    
        
    MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

        

        
    
        
    所屬分類：

        
    

        
    
        
    
    


        
    
        
    產(chǎn)品咨詢：

        
    

        

        

        

        
    
        
    
        
    
        
    產(chǎn)品描述

        

        

        
    

        
    
        
	
		
        
			
			
        中文名
        
			        		
			
			
        化學(xué)式
        
			        		
			
			
        CAS號
        
			        		
			
			
        別名
        
			        		
			
			
        英文名
        
			        		
			
			
        產(chǎn)能情況和庫存
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        磷酸三甲酯
        
			        		
			
			
        C3H9O4P
        
			        		
			
			
        512-56-1
        
			        		
			
			
        TMPO
        
			        		
			
			
        Trimethyl phosphate
        
			        		
			
			
        前驅(qū)體
        
			        		
		
        
	        

        


         
        


        
	
		
        
			
			
        磷酸三甲酯（TMPO）
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        化學(xué)式
        
			        		
			
			
        C3H9O4P
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        中文名稱
        
			        		
			
			
        磷酸三甲酯
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        英文名稱
        
			        		
			
			
        Trimethyl phosphate
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        CAS No.
        
			        		
			
			
         512-56-1
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        分子量
        
			        		
			
			
        140.07
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        應(yīng)用
        
			        		
			
			
        用于在半導(dǎo)體應(yīng)用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(zhì)(PMD)以及金屬層間介電質(zhì)(AVID)在IC制造中有著廣泛的應(yīng)用。二氧化硅原有的有序網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)由于硼磷雜質(zhì)(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        產(chǎn)品規(guī)格
        
			        		
			
			
        9N（99.9999999%）
        
			        		
		
        
	        

        


        

        
 
        

        
    
        
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